設(shè)備名稱：晶圓高空輸送線

設(shè)備尺寸：可依客戶需求定制

設(shè)備功能：晶圓廠的產(chǎn)品的運(yùn)輸

自動(dòng)化搬運(yùn)晶圓片盒（如open cassette）、托盤(pán)、組件等

利用工廠上方空間架設(shè)，優(yōu)化空間

無(wú)縫集成到MES、MCS、RDT等系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)度、追蹤物料流向

系統(tǒng)可按需擴(kuò)展，軌道長(zhǎng)度、控制點(diǎn)可調(diào)               

性能指標(biāo)：

振動(dòng)值≤0.5g

cv運(yùn)行速度150—450 mm|s

兩段CV之間水平垂直度±0.05mm

技術(shù)特點(diǎn)：

具備CV緩存功能

支持CAD導(dǎo)入和手繪地圖

自動(dòng)排除擁堵和異常料盒回流功能

大屏展示功能，動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)顯示設(shè)備狀態(tài)、料盒狀況和任務(wù)執(zhí)行狀況

能與Stocker，Lifter，倒藍(lán)，AGV無(wú)縫對(duì)接，實(shí)現(xiàn)智能空中物流搬運(yùn)系統(tǒng)

適用產(chǎn)品：4寸，6寸，8寸晶圓