半導(dǎo)體硅片廠4口Sorter是一種專為高潔凈環(huán)境設(shè)計(jì)的晶圓盒智能分揀設(shè)備，具備四個(gè)獨(dú)立的輸入/輸出端口，支持多路徑物料分流與匯流，實(shí)現(xiàn)Open casstte在加工設(shè)備、Stocker、Lifter及OHT軌道之間的高效、精準(zhǔn)調(diào)度。該設(shè)備采用密封式結(jié)構(gòu)，確保Class 1級潔凈度要求，集成SECS/GEM通信協(xié)議，可與MCS、MES系統(tǒng)無縫對接，支持自動識別、路徑選擇、緩沖存儲與狀態(tài)監(jiān)控功能，具備高可靠性、低延遲和強(qiáng)擴(kuò)展性，廣泛應(yīng)用于6-12英寸晶圓廠自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS），是提升廠內(nèi)物流效率與智能化水平的核心樞紐設(shè)備。