
半導體硅片廠8口Sorter是一種高性能、高集成度的晶圓盒(FOUP)智能分揀樞紐設備,配備八個獨立的輸入/輸出端口,支持多流向同時進出,實現FOUP在加工區、Stocker、Lifter及OHT軌道之間的高效、靈活調度與路徑分流。設備采用全封閉凈化結構,滿足ISO Class 1高潔凈度要求與靜電防護系統,確保晶圓傳輸過程無污染、無損傷。通過SECS/GEM協議與MCS、MES系統無縫集成,支持實時狀態監控、自動路徑規劃、緩沖存儲與故障預警,具備高吞吐量、低延遲、強擴展性等優勢,專為6-12英寸先進制程晶圓廠的大規模自動化物料搬運系統(AMHS)設計,是提升廠內物流效率與智能化水平的關鍵核心設備。
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