
晶圓包裝機是一款專為半導體后道工序設計的全自動智能包裝設備,集自動上料、自動貼標、PE袋封裝、干燥劑投放、鋁箔袋熱封、外袋標簽粘貼及自動下料等功能于一體,實現晶圓盒(FOUP/SMIF)或晶圓料盒的全流程無人化包裝。設備在高潔凈環境下運行,具備精準的傳感器定位與防錯機制,確保每道工序穩定可靠;支持與MES系統對接,實現包裝過程數據追溯與批次管理,有效提升包裝效率、一致性和產品防護等級,廣泛應用于6,8,12英寸晶圓廠的成品出貨環節,是保障晶圓運輸安全、滿足高標準封裝要求的核心自動化裝備。
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